精密控制空气质量，
保障微电子生产可靠性

针对微电子行业严苛的洁净度要求，提供定制化空气过滤系统解决方案，有效去除亚微米级污染物，确保生产环境稳定达标。

定制解决方案
  • GPCA会员单位

全方位微电子空气过滤解决方案

针对微电子行业的特殊需求，提供从设计、安装到运维的一站式空气洁净解决方案，确保生产环境稳定可靠。

高效空气过滤系统

采用HEPA/ULPA级过滤器，针对0.1μm微粒过滤效率达99.999%以上，满足Class 3级洁净室要求。

精密环境控制系统

实现温度±0.1℃、湿度±2%RH的精确控制，配合气流组织优化，确保洁净室内环境参数稳定。

定制化运维服务

提供定期检测、过滤器更换和系统优化服务，根据生产计划灵活安排维护，最大限度减少停机时间。

微电子空滤解决方案

客户成功案例

我们已为多家微电子企业提供空气过滤解决方案，帮助客户提升产品质量和生产效率。

某领先晶圆制造企业

12英寸晶圆厂洁净室改造

为客户12英寸晶圆生产线提供全套空气过滤系统升级，将洁净度从Class 5提升至Class 3，有效降低了产品缺陷率。

产品良率提升
18.5%

能耗降低
22%

某大型封装测试

封装测试车间环境优化

为客户新建的封装测试车间设计并安装了全套空气过滤和环境控制系统，满足高精度测试需求。

温湿度控制精度
±0.1℃/±2%RH

系统响应时间
<1秒

微电子空气过滤解决方案-常见问答

我们收集了客户最常咨询的问题，如果您有其他疑问，欢迎随时联系我们的专家团队。

微电子制造涉及纳米级的精密工艺。哪怕是最微小的颗粒污染物（甚至比病毒还小）落在晶圆上，都可能导致电路短路、线宽变形，从而造成产品良率大幅下降。因此，工厂需要维持ISO 1-5级的超高洁净度，这完全依赖于高效且稳定的空气过滤系统。

我们提供覆盖整个洁净室空气处理系统（AHU）的全系列产品：

  • ​​化学过滤器 (Chemical Filters):​​ 去除空气中的​​AMC（气态分子污染物）​​，如酸性/碱性气体、掺杂剂、冷凝烃等，这些是导致产品缺陷和氧化腐蚀的主要元凶。
  • ​​超高效过滤器 (ULPA Filters):​​ 提供对​​0.1-0.2μm颗粒​​ ≥99.9995% 的过滤效率（ISO U15级以上），是维持洁净室颗粒标准的最终屏障。
  • ​​高效过滤器 (HEPA Filters):​​ 作为预过滤和终端过滤，用于对洁净度要求稍低的区域。
  • ​​高耐久性滤材:​​ 采用玻纤等材料，确保在高温高湿的苛刻环境下性能不衰减，使用寿命长。

危害:​​ AMC会沉积在晶圆表面，导致​​表面氧化、电子特性改变、光刻胶玷污​​等一系列化学反应缺陷。例如，硼、磷等掺杂剂即使浓度极低，也会改变硅片的电学性能。

​​解决方案:​​ 我们提供针对不同AMC的​​专用化学滤网​​，通过选择性吸附（如浸渍化学物质的高表面积吸附剂）来精准去除特定污染物，保护制造过程。

这是我们设计的核心原则。我们采用：

​​洁净室包装:​​ 所有高端过滤器均在Class 100及以上洁净环境中生产、测试并采用真空密封包装，确保运输和储存零污染。

​​低析出 (Low Outgassing) 材料:​​ 滤材、分隔物、密封胶和框架均经过严格筛选，确保其在洁净室环境中不会释放挥发性有机物(VOCs)或颗粒。

​​金属框架选项:​​ 提供阳极化铝合金框架，杜绝生锈风险，且更容易擦洗消毒。

  • 更长的使用寿命:​​ 我们高容尘、耐湿热的滤材设计，延长了更换周期，减少了停机时间和人工成本。
  • ​​更低的能耗:​​ 我们优化的滤材设计在保证高效率的同时，提供更低的初始压降，从而降低风机能耗，显著节约电费。
  • ​​更高的良率保护:​​ 可靠稳定的过滤性能是保护您昂贵生产设备和高产品良率的第一道防线，避免因污染造成的巨大财务损失。

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